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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 10微米的硅片厚度适合用什么仪器测量？
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y48642549

禁虫 (小有名气)
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1楼 2013-12-23 09:32:48
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damuchongzi

铁杆木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

回LZ，3w以内的电容式测厚仪纯属痴心妄想。
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7楼2013-12-30 12:10:14
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kongjzh

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
南大国家实验室的微加工中心有这种设备
就是不知道多少钱？
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2楼2013-12-23 09:38:20
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lbb199086

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这个价格，粗糙度计应该可以吧，我可以帮你问问
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3楼2013-12-23 12:45:48
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xiaolongno1

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
台阶仪没有问题。我们实验室有台。
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4楼2013-12-23 20:20:42
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