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lyf123

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[求助] 请教一下，膜层当中缺陷的问题

问题是这样，我们在我们加工的光栅结构上沉积一层TiO2薄膜，沉积之后发现膜层当中存在很多缺陷！就是不清楚缺陷产生的原因，请大家指点一下！顺便问一下，有没有什么沉积膜层方式可以解决这个问题。谢谢！下面有附图说明！
说明，石英光栅周期大约200nm,光栅深度大约60nm,第一幅图利用电子束蒸发沉积，第二幅图利用ALD沉积！

1 电子束蒸发沉积图

2 ALD.jpg

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1楼 2013-12-17 10:03:22

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