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sunnysky7893

木虫 (小有名气)

[交流] 有没有做氮化硅涂层的,交流一下,谢谢!!

有没有做氮化硅涂层的,我们现在碰到一个问题,想跟大家交流一下,谢谢!!!
最好是化学气相沉积做的,然后先驱体是四氯化硅的。
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好好做事!
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sunnysky7893

木虫 (小有名气)

我看好像是从河北那一块寄过来的,具体我也不知道,我现在有点问题想交流一下,就是反应副产物的问题。
好好做事!
3楼2007-12-30 09:47:34
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pengyongfeng

木虫 (著名写手)


这位老兄,请问你的四氯化硅哪里买来的啊?
谢谢!!!
2楼2007-12-29 19:03:36
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