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sunnysky7893木虫 (小有名气)
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[交流]
有没有做氮化硅涂层的,交流一下,谢谢!!
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有没有做氮化硅涂层的,我们现在碰到一个问题,想跟大家交流一下,谢谢!!! 最好是化学气相沉积做的,然后先驱体是四氯化硅的。 |
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sunnysky7893
木虫 (小有名气)
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3楼2007-12-30 09:47:34
pengyongfeng
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