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CVD制备碳化硅中MTS流量计算以及MTS蒸汽压问题 已有1人参与
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| 请问,CVD制备碳化硅中,以氢气作为载气MTS流量该如何计算的呢? 很多文献中直接给出了MTS的流量,也不知道是如何的出来的,是不是有什么计算公式? 另外还请问MTS在不同温度下的蒸汽压是多少呢? 最好能有蒸汽压随温度的曲线关系,谢谢了! 不胜感激! |
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2楼2021-08-26 17:18:39










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