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244419281

木虫 (正式写手)

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[求助] CVD制备碳化硅中MTS流量计算以及MTS蒸汽压问题已有1人参与

请问，CVD制备碳化硅中，以氢气作为载气MTS流量该如何计算的呢？很多文献中直接给出了MTS的流量，也不知道是如何的出来的，是不是有什么计算公式？另外还请问MTS在不同温度下的蒸汽压是多少呢？最好能有蒸汽压随温度的曲线关系，谢谢了！不胜感激！

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坚信自己，一步一步收获成功

1楼 2013-12-13 10:47:23

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

649013319

铁虫 (初入文坛)

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【答案】应助回帖

引用回帖:

1楼: Originally posted by 244419281 at 2013-12-13 10:47:23
请问，CVD制备碳化硅中，以氢气作为载气MTS流量该如何计算的呢？很多文献中直接给出了MTS的流量，也不知道是如何的出来的，是不是有什么计算公式？另外还请问MTS在不同温度下的蒸汽压是多少呢？最好能有蒸汽压 ...

我们是直接鼓泡法按载气流量来的然后每次确定好MTS液面下降刻度

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