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CVD制备碳化硅中MTS流量计算以及MTS蒸汽压问题 已有1人参与
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| 请问，CVD制备碳化硅中，以氢气作为载气MTS流量该如何计算的呢？ 很多文献中直接给出了MTS的流量，也不知道是如何的出来的，是不是有什么计算公式？ 另外还请问MTS在不同温度下的蒸汽压是多少呢？ 最好能有蒸汽压随温度的曲线关系，谢谢了！ 不胜感激！ |
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