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fanglei0404新虫 (小有名气)
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[求助]
如何在薄膜上渡出欧姆接触的Pt电极？
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| 我们用的是小型溅射仪，自身不具备退火功能，请问一下，如何在功函数比Pt或者Au小的膜上面镀出欧姆接触的电极？我们的尺寸比较小。0.1或者0.2mm。想用它测试电学特性，结果总是能测出电极跟上表面膜接触形成的肖特基结，如何能避免这个问题呢？ |
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 制膜 |
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