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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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云静风飞

新虫 (初入文坛)

[求助] 铜基微通道加工

各位虫友好：谁知道什么加工工艺或者有哪些单位能在无氧铜上加工出来宽度0.1mm，深度为0.3mm，两个通道之间的壁厚为0.05mm或者0.1mm的微通道？线切割貌似不行，联系了加工单位，人家说两通道之间壁厚最起码要4-5mm。化学蚀刻的话要用铜做宽0.1mm的通道，那么深度也不能超过0.1mm。真心找不到合适的加工工艺或者加工单位，谁能给推荐一下啊。
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1楼 2013-12-11 14:07:43
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云静风飞

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by qfw_68 at 2013-12-17 09:23:36
还有一种可能的方法，是采用厚光刻胶在无氧铜上通过光刻方法转印图形，然后通过电镀方法镀铜，再去胶，形成楼主所要的图形。

这种方法我联系了"LIGA"和"类LIGA"加工，人家说这个加工着成本很高，而且LIGA加工这套工序正在改造，目前也加工不了。“类LIGA"加工我给的图通道上下没刻穿，相当于有一个基板，基板厚度0.2mm，老师说基板电镀不出来，我把图改改，再问问老师吧。谢谢你啊。
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9楼2013-12-17 13:16:39
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
云静风飞: 金币+5, 博学EPI+1, ★★★很有帮助 2013-12-17 09:14:33
楼主查下这篇文献，里面有对紫铜和黄铜的微细阵列槽的加工方案，应该能满足要求：
一种高深宽比微细槽的电火花加工工艺
https://www.cnki.com.cn/Article/CJFDTotal-BJGD201003002.htm
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没有困难创造困难也要上网。
2楼2013-12-11 15:38:22
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
云静风飞: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-12-23 15:28:36
还有一种可能的方法，是采用厚光刻胶在无氧铜上通过光刻方法转印图形，然后通过电镀方法镀铜，再去胶，形成楼主所要的图形。
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没有困难创造困难也要上网。
6楼2013-12-17 09:23:36
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云静风飞

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by qfw_68 at 2013-12-17 09:14:38
可以试一试激光扫描加工：
355nm和1064nm全固态激光器刻蚀印刷线路板
https://www.docin.com/p-195111031.html
此外还有电子束和离子束微细加工技术，楼主可以百度一下。

激光加工我也联系了，人家说：无氧铜反光，还有就是导热性太好，激光打上去后一方面会被反射回去，另一方面热量很快就散开了。而且我们要加工的槽道深度为0.3mm，激光加工的话这个深度太深了。
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7楼2013-12-17 12:58:54
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