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lyyanzi

木虫 (小有名气)

[求助] CZTS薄膜溅射Mo 已有3人参与

溅射制备Mo，与钠钙玻璃的粘附性很差，胶带一贴就掉，能否帮帮我呢！！！

高阻层用的功率是100W，20min，低阻120W，30min。

从60W开始摸索工艺，到现在还是不行

求问各位同行有什么办法...
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1楼 2013-12-10 19:30:42
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guilin24

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
lyyanzi: 金币+10 2014-01-15 09:37:09
是不是反了啊
试试 高阻层用的功率是120W，5min，1pa；低阻120W，20min，0.15pa。
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2楼2013-12-28 16:23:01
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

看来是由于钼薄膜对玻璃表面不润湿所导致没有镀上。看来要先对玻璃表面进行活化处理并使其变得粗糙些才好；另外查查两者的热膨胀系数相差的大不大，要是大的话可能要先读一层镍。
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3楼2013-12-29 22:31:58
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jijicheng88

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

你这溅射的时间也太长了吧 2L给的条件比较适合
另外玻璃一定要洗洗干净啊
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4楼2014-01-03 16:35:14
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