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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 网络生活区 » 有奖问答 » 实验讨论 » 叉指电极
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dajun1949

新虫 (初入文坛)

[求助] 叉指电极

为什么在硅衬底上制备出的叉指电极（10nmTi和200nmNi），用万用表测量，竟然是短路？？？求可能的原因。
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我是一匹来自北方的狼
1楼 2013-12-08 19:36:08
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qfw_68

版主 (文坛精英)

有尾巴的青蛙

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
dajun1949: 金币+5, 博学EPI+1, 谢谢，非常感谢，虽然，不是我想要的。谢谢 2013-12-15 08:55:48
应该是击穿了吧。
查一下万用表所使用的电池电压、电极间距和所用硅的击穿场强。
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没有困难创造困难也要上网。
2楼2013-12-09 06:55:33
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普通回帖

sxhanlinhong

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

做的插值电极可能两个指连在了一起了，在扫描下看看
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3楼2015-08-25 15:00:36
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刘小影同学

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

硅晶片的特质,半导体,万用表是测不出电阻的,应该用专用工具四探针测试仪
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4楼2019-03-25 15:00:59
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