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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 行业资讯 » 请问北京哪个单位能用软刻蚀法加工PDMS微槽？
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yihu_55

银虫 (正式写手)

[求助] 请问北京哪个单位能用软刻蚀法加工PDMS微槽？

微槽尺寸大约高宽均在几十~几百微米的范围内。长度大约3cm左右
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1楼 2013-12-07 15:49:52
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yihu_55

银虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by tainanlic at 2013-12-07 18:02:19
中国科学院物理研究所    微加工实验室
http://lmf.iphy.ac.cn/...

不知道会不会对外加工，只能周一打电话问问了，谢谢您了！
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5楼2013-12-07 18:19:43
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tainanlic

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
tyhjqxbz: 金币+1, 感谢应助 2013-12-08 06:30:33
似乎应该是用刻蚀法制作母模，再用PDMS翻制为软模吧。
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2楼2013-12-07 16:37:05
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yihu_55

银虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by tainanlic at 2013-12-07 16:37:05
似乎应该是用刻蚀法制作母模，再用PDMS翻制为软模吧。

应该是的，您知道哪个单位可以加工吗？
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3楼2013-12-07 17:06:40
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tainanlic

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by yihu_55 at 2013-12-07 17:06:40
应该是的，您知道哪个单位可以加工吗？...

中国科学院物理研究所    微加工实验室
http://lmf.iphy.ac.cn/
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4楼2013-12-07 18:02:19
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