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yihu_55

银虫 (正式写手)

[求助] 请问北京哪个单位能用软刻蚀法加工PDMS微槽?

微槽尺寸大约高宽均在几十~几百微米的范围内。长度大约3cm左右
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yihu_55

银虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by tainanlic at 2013-12-07 18:02:19
中国科学院物理研究所    微加工实验室
http://lmf.iphy.ac.cn/...

不知道会不会对外加工,只能周一打电话问问了,谢谢您了!
5楼2013-12-07 18:19:43
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tainanlic

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
tyhjqxbz: 金币+1, 感谢应助 2013-12-08 06:30:33
似乎应该是用刻蚀法制作母模,再用PDMS翻制为软模吧。
2楼2013-12-07 16:37:05
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yihu_55

银虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by tainanlic at 2013-12-07 16:37:05
似乎应该是用刻蚀法制作母模,再用PDMS翻制为软模吧。

应该是的,您知道哪个单位可以加工吗?
3楼2013-12-07 17:06:40
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tainanlic

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by yihu_55 at 2013-12-07 17:06:40
应该是的,您知道哪个单位可以加工吗?...

中国科学院物理研究所    微加工实验室
http://lmf.iphy.ac.cn/
4楼2013-12-07 18:02:19
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