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zhanglexi

铁杆木虫 (著名写手)

小木虫路过之王

[交流] 【求助】硅片如何切割?(用作CVD法制备纳米材料的基底)

CVD法制备纳米材料,需要沉积在硅片上。各位虫虫有什么好方法把大的硅片切割整齐,分成小块?

[ Last edited by caosw2001 on 2008-7-8 at 16:25 ]
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Inner peace.
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prosplitter

这是单晶硅的解理断裂性质决定的。
引用回帖:
Originally posted by jiafalong at 2007-12-30 20:34:
一个非常适用的方法:注意买来的硅片上有个缺口,用玻璃刀划硅片的时候方向一定要和这个缺口的方向平行或者垂直!然后轻划一下(不要来回划,一次就够了),轻轻一掰硅片就分开了。我曾经划出过宽度3mm的长硅片。 ...

7楼2008-01-02 10:01:55
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