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zhanglexi

铁杆木虫 (著名写手)

小木虫路过之王

应助: 20 (小学生)
金币: 10047.8
散金: 59
红花: 2
帖子: 2827
在线: 365小时
虫号: 286270
注册: 2006-10-15
性别: GG
专业: 无机纳米化学

[交流] 【求助】硅片如何切割？（用作ＣＶＤ法制备纳米材料的基底）

ＣＶＤ法制备纳米材料，需要沉积在硅片上。各位虫虫有什么好方法把大的硅片切割整齐，分成小块？

[ Last edited by caosw2001 on 2008-7-8 at 16:25 ]

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Inner peace.

1楼 2007-12-26 09:32:49

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ranon

金虫 (正式写手)

应助: 6 (幼儿园)
金币: 596.8
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红花: 1
帖子: 508
在线: 54.3小时
虫号: 424739
注册: 2007-07-22
性别: GG
专业: 无机非金属类光电信息与功

我也是这样用的，尤其是掰的时候，用尺子比着掰会比较容易沿着画痕断开。还有就是划的时候一定要轻，否则容易断裂。

引用回帖:

Originally posted by liujianhzw at 2008-4-19 19:15:
硅片的切割是否容易取决于硅片的晶向，对于（100）的硅片，同意4搂的说法，用玻璃刀沿着有缺口的地方，平行画下，然后就能割开了，并且很容易切割方正。
而对于（111）的硅片，非常不好切割，容易形成三角形，建 ...

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21楼2008-07-08 15:17:31

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