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木虫 (正式写手)

[交流] 光刻机

实验室想买一台普通一点的光刻机，价格在50W左右。不知道买哪个牌子的好。请用过光刻机的大神门指点一二。

1楼 2013-12-04 16:08:32

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5楼2025-02-17 09:33:56

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专家顾问 (著名写手)

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ljjwmsj: 金币+5 2013-12-06 08:34:08
穿越千年: 鼓励积极交流 2014-01-14 09:31:29

如果是普通的光刻机，那么国产的就ok了，好一些的三十多万，如果想买双面的，50万肯定够了。推荐中科院成都光电所。你这个钱在他们那儿甚至可以考虑买激光直写了。
至于进口的，完全没有必要。像ABM的产品和国产水平没啥差别，而SUSS、EVG之类的，你这个预算又不够了。

3楼2013-12-05 17:33:26

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新虫 (初入文坛)

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穿越千年: 金币+1, 鼓励新虫积极交流 2014-01-14 09:31:40

suss的，我们现在用的还是二手的，也相当ok的，30w足够了

4楼2014-01-13 21:59:58

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