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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 光刻机
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ljjwmsj

木虫 (正式写手)

[交流] 光刻机

实验室想买一台普通一点的光刻机，价格在50W左右。不知道买哪个牌子的好。请用过光刻机的大神门指点一二。
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1楼 2013-12-04 16:08:32
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科研的黄同学

禁虫
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
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5楼2025-02-17 09:33:56
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
ljjwmsj: 金币+5 2013-12-06 08:34:08
穿越千年: 鼓励积极交流 2014-01-14 09:31:29
如果是普通的光刻机，那么国产的就ok了，好一些的三十多万，如果想买双面的，50万肯定够了。推荐中科院成都光电所。你这个钱在他们那儿甚至可以考虑买激光直写了。
至于进口的，完全没有必要。像ABM的产品和国产水平没啥差别，而SUSS、EVG之类的，你这个预算又不够了。
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3楼2013-12-05 17:33:26
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wjscl2009

新虫 (初入文坛)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
穿越千年: 金币+1, 鼓励新虫积极交流 2014-01-14 09:31:40
suss的，我们现在用的还是二手的，也相当ok的，30w足够了
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4楼2014-01-13 21:59:58
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