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雾化雨123

新虫 (初入文坛)

[求助] 如何测得氧化铝薄膜(20nm左右)中含量很少的H??

如题,我是在生长氧化铝薄膜中对其进行H处理,参比样则没有。
但是两者做了红外测试后,没有什么区别,是因为H含量太少了吗?但是做出来的器件性能还是有很大差别的
想问下还有没有别的方法可以测出来薄膜中的H的??
万分感谢!
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