| 查看: 988 | 回复: 2 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[交流]
后烘温度对SU-8光刻胶热溶胀性及内应力的影响 已有1人参与
|
|||
|
想请问各位大侠，我用的PMMA为 950K（正胶）,型号AR-R 672.03，PMMA固体含量3.0%，抗蚀剂的粘度为15.5mPas。 想涂100-200nm厚度，制造100nm线栅结构，可是听说前后烘会对结构影响很多，只是不知道所谓的影响有没有什么规律？ 我现在采用的是前烘180度，60s;后烘110度，90s，这个时间和胶的厚度有关系么？ |
回复此楼» 猜你喜欢
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有159人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
-
温州大学化材学院王娟课题组招生
已经有5人回复
-
学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟已有10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
南昌航空大学蒋华麟教授课题组招收化学、环境、碳达峰碳中和及相关专业硕士信息
已经有0人回复
-
湖北师范大学复试调剂
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 请教：哪位知道SU-8光刻胶用什么溶液溶解后可以和甲苯溶液混合？
已经有3人回复
q627030174
银虫 (正式写手)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 454
- 散金: 15
- 红花: 2
- 帖子: 306
- 在线: 22.1小时
- 虫号: 7652364
- 注册: 2017-12-20
- 性别: GG
- 专业: 光学
3楼2019-03-19 21:49:21
2楼2013-12-04 10:34:53
