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XPS深度剖析的荷电效应校正方法
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专业: 无机非金属类光电信息与功
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]
XPS深度剖析的荷电效应校正方法
请教一下各位,
对薄膜样品进行XPS深度剖析后,
除了开始几层,其它层的C1s峰都不明显,
请问这样如何能校正后面几层的荷电效应呢?
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2楼
:
Originally posted by
jjwang
at 2013-12-04 09:10:34
溅射一般是氩离子溅射,可以用Ar来校正
好主意啊!我刚看了下数据,则有一疑问,请问一般是用2s还是2p呢?两者偏移有很大差别呀。
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3楼
2013-12-04 10:12:11
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