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制备氮化铟薄膜的衬底选择问题 已有2人参与
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| 请教:制备氮化铟薄膜时,衬底是该用蓝宝石还是该用砷化镓,有的文献说是蓝宝石比砷化镓生长出的薄膜质量要好,有的又说砷化镓比蓝宝石生长出的薄膜质量要好,不知道该怎么选择,才能生长出更好质量的薄膜,请教各位高手,多提意见,谢谢 |
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jchenpanyu
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