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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 制备氮化铟薄膜的衬底选择问题
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wjy_421

新虫 (小有名气)

[求助] 制备氮化铟薄膜的衬底选择问题 已有2人参与

请教：制备氮化铟薄膜时，衬底是该用蓝宝石还是该用砷化镓，有的文献说是蓝宝石比砷化镓生长出的薄膜质量要好，有的又说砷化镓比蓝宝石生长出的薄膜质量要好，不知道该怎么选择，才能生长出更好质量的薄膜，请教各位高手，多提意见，谢谢
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当你站在高处时能让别人看清你，当你跌落低谷时,你能看清所有人
1楼 2013-11-28 15:21:04
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jchenpanyu

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
华丽的飘过: 金币+2, 3q 2014-01-01 23:24:20
现阶段的技术条件用蓝宝石是完全没问题。现在已经没人用GaAs做衬底外延的了
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2楼2013-12-12 17:33:48
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yuki琪

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

你可以看一下二者之间的晶格，晶格差异小的会好一些，晶格相差大的长出的薄膜质量不好。具体的晶格我没有搜，你可以查一下。另外我想问你做氮化铟薄膜用的什么靶材？
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3楼2016-11-25 12:29:00
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