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wjy_421

新虫 (小有名气)

[求助] 制备氮化铟薄膜的衬底选择问题 已有2人参与

请教:制备氮化铟薄膜时,衬底是该用蓝宝石还是该用砷化镓,有的文献说是蓝宝石比砷化镓生长出的薄膜质量要好,有的又说砷化镓比蓝宝石生长出的薄膜质量要好,不知道该怎么选择,才能生长出更好质量的薄膜,请教各位高手,多提意见,谢谢
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jchenpanyu

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
华丽的飘过: 金币+2, 3q 2014-01-01 23:24:20
现阶段的技术条件用蓝宝石是完全没问题。现在已经没人用GaAs做衬底外延的了
2楼2013-12-12 17:33:48
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yuki琪

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

你可以看一下二者之间的晶格,晶格差异小的会好一些,晶格相差大的长出的薄膜质量不好。具体的晶格我没有搜,你可以查一下。另外我想问你做氮化铟薄膜用的什么靶材?
3楼2016-11-25 12:29:00
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