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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 光刻胶AZ701和AZ5214E的溶剂是什么？
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coer-chen

金虫 (小有名气)

[交流] 光刻胶AZ701和AZ5214E的溶剂是什么？

如题，这两种光刻胶的那些化学成分都有哪些？主要的是它们用的是什么溶剂？谢谢！
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1楼2013-11-28 11:11:31
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
coer-chen: 金币+5 2013-12-02 14:52:16
去查他们的MSDS文件。
不出意外的话，溶剂应该是PGMEA
问这个干吗？
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3楼2013-11-28 14:12:20
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babyoflion

金虫 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
coer-chen: 金币+5, 稀释液 2013-12-02 14:55:17
溶剂？稀释液还是显影液？
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2楼2013-11-28 12:41:31
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