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硅和多孔硅的湿法氧化化问题
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硅和多孔硅的湿法氧化化问题
目前工业上制备氧化硅主要使用干氧化还是湿氧化,由于多孔硅具有较强的还原性,湿法氧化多孔硅时又如何避免多孔硅中的硅纳米晶被完全氧化?
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