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yishuiqing

铜虫 (小有名气)

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[求助] 溅射铜膜剥离二氧化硅的问题

我在300nm厚SiO2上磁控溅射了几十个纳米的铜膜，功率是250W，用HF腐蚀，需要很长时间才能把这层铜膜泡下来，而且铜膜都被腐蚀的差不多了，请问这样的现象正常吗？如何才能很快的把膜剥离下来？谢谢！

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1楼 2013-11-20 20:15:15

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