24小时热门版块排行榜    

查看: 435  |  回复: 0

yishuiqing

铜虫 (小有名气)

[求助] 溅射铜膜剥离二氧化硅的问题

我在300nm厚SiO2上磁控溅射了几十个纳米的铜膜,功率是250W,用HF腐蚀,需要很长时间才能把这层铜膜泡下来,而且铜膜都被腐蚀的差不多了,请问这样的现象正常吗?如何才能很快的把膜剥离下来?谢谢!
回复此楼
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

智能机器人

Robot (super robot)

我们都爱小木虫

找到一些相关的精华帖子,希望有用哦~

科研从小木虫开始,人人为我,我为人人
相关版块跳转 我要订阅楼主 yishuiqing 的主题更新
信息提示
请填处理意见