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lianglei至尊木虫 (正式写手)
逐梦小虫
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[求助]
MBE成膜基底要不要离子刻蚀
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如题请问MBE成膜前基底如何去除表面吸附杂质，是通过加热还是离子刻蚀（sputtering）。通过AFM看了基底表面，非常平整（0.5nm粗糙度），但是不可避免有小颗粒（几nm）。请教成膜前如何处理基底表面。 [ 来自小组 锂电池世界 ] |
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lianglei
至尊木虫 (正式写手)
逐梦小虫
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2楼2013-11-18 23:55:26
