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bing3287

金虫 (小有名气)

[交流] 求助:Fe3O4可以磁控溅射成膜吗

求助各位虫子,Fe3O4纳米颗粒可以做成靶材进行磁控溅射吗?如能够磁控溅射会影响它的磁性能吗?磁控溅射样品温度能达到多大?无机颗粒可以与聚合物同时溅射成为均匀的复合膜吗?谢谢!
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granular

木虫 (著名写手)

用Fe靶通氧气就行 我们实验室一直这么做
2楼2007-12-18 10:48:54
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bing3287

金虫 (小有名气)

谢谢 那如果我想将Fe3O4和聚合物均匀的溅射在基片上,这两种可以一起溅射吗 我以前从没做过溅射,对这方面不太了解
3楼2007-12-18 14:09:04
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