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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请教AFM的RMS粗糙度是什么
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li_qun

铜虫 (著名写手)

[求助] 请教AFM的RMS粗糙度是什么

。请教AFM的RMS粗糙度是什么，可以理解成样品表面的平均高度吗？谢谢
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1楼 2013-11-15 15:00:54
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wendy326

金虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by li_qun at 2013-12-09 16:33:02
谢谢，如果我把样品表面近似为一个个峰，峰的高度和峰间的距离能对应AFM结果中的某个值吗...

AFM图片做section analysis  可以得出选定区域的宽度和高度或深度
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7楼2013-12-12 04:46:21
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wendy326

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

RMS是表面粗糙度的高度分布参数。不能理解为平均高度，它是轮廓线与平均线垂直偏差的方均根
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2楼2013-12-10 00:04:33
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愤怒的-小虫

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

RMS值实际就是均方根值，就是一组统计数据的平方和的平均值的平方根。
RMS=sqrt[(x1^2+x2^2+......+xn^2)/n]

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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灵魂和肉体的战斗
3楼2013-12-10 06:51:02
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li_qun

铜虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wendy326 at 2013-12-10 00:04:33
RMS是表面粗糙度的高度分布参数。不能理解为平均高度，它是轮廓线与平均线垂直偏差的方均根

谢谢，如果我把样品表面近似为一个个峰，峰的高度和峰间的距离能对应AFM结果中的某个值吗
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4楼2013-12-10 08:33:02
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