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zerorvv

新虫 (小有名气)

[求助] 文章如何获得这些微纳孔的剖面图的?

这些孔的直径只有200多纳米,深度40多微米,材料是玻璃薄片,他是怎么切的材料能能把孔的剖面得到,用的什么研磨手段,SEM只能观察表面形貌啊,还是用什么观察手段能够观察到材料内部的结构?
文章如何获得这些微纳孔的剖面图的?
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文章如何获得这些微纳孔的剖面图的?-1
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yehanwin

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

是不是聚焦离子束刻蚀???一般透射电镜制样就用那玩意切样片!
升级为木虫,纪念下!
2楼2013-11-20 16:04:55
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clean

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yehanwin at 2013-11-20 16:04:55
是不是聚焦离子束刻蚀???一般透射电镜制样就用那玩意切样片!

正解,FIB技术
3楼2013-11-20 17:06:22
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