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看这里，um后铜箔问题
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老板让直接在2um厚的铜箔上加阻挡层和催化剂上长碳纳米管，关键是um级的铜膜必须电镀，而镀前必须有纳米级的种子层，弄这种子层就必须在硅片上，可是怎样才能在镀好后把下层的硅和氧化硅去掉而不损害铜箔？不胜感激 |
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小毅子1991
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2楼2013-11-27 10:13:00
