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xiaoliu0140

金虫 (初入文坛)

[求助] 看这里,um后铜箔问题

老板让直接在2um厚的铜箔上加阻挡层和催化剂上长碳纳米管,关键是um级的铜膜必须电镀,而镀前必须有纳米级的种子层,弄这种子层就必须在硅片上,可是怎样才能在镀好后把下层的硅和氧化硅去掉而不损害铜箔?不胜感激
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小毅子1991

木虫 (正式写手)


xiaoliu0140(tyhjqxbz代发): 金币+1, 感谢应助交流,常来工艺技术版 2013-11-28 08:40:01
可以蒸镀  如果有能力的话
天行健,自强不息,顺势而行终得道。地势坤,厚德载物,有容乃大天地宽
2楼2013-11-27 10:13:00
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