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xiaolizi2008铜虫 (小有名气)
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[交流]
求教：射频磁控溅射方面
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求教各位： 我们采用射频磁控溅射制备纳米薄膜样品时，需要衬底加热，但是射频源一开，温度显示就乱了，似乎是温度受射频干扰，请问仪器应作怎样的调整才能避免这一痛心的问题？？方法越简便越好！先谢谢了！ [search]射频磁控[/search] |
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chenjin
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