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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 靶材在使用过程中黑点及成膜后薄膜较软
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091820053

禁虫 (知名作家)
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磁控溅射靶材资料大全 Target and film

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1楼 2013-11-08 16:39:56
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weifeng_10

金虫 (小有名气)
★
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chemlh: 欢迎积极交流 2013-11-10 07:31:21
可能是玻璃表面没处理好吧，希望对你有帮助.还有你的靶材是什么材料做的？
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止于至善
2楼2013-11-09 09:50:35
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091820053

禁虫 (知名作家)
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3楼2013-11-11 12:01:57
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Smallpeng

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
是不是玻璃么清洗干净？你的靶材是什么材料？
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勇敢自信踏实，科研其实和生活是一样一样的
4楼2013-11-19 20:34:35
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091820053

禁虫 (知名作家)
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5楼2013-11-20 08:37:35
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尘隐土

木虫 (正式写手)

贫困区
★
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是不是靶材密度不够，里面有气泡？
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6楼2013-11-20 09:16:42
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Smallpeng

木虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 091820053 at 2013-11-20 08:37:35
硅铝合金靶材。...

致密度可能不够
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勇敢自信踏实，科研其实和生活是一样一样的
7楼2013-11-20 21:53:45
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091820053

禁虫 (知名作家)
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8楼2013-11-21 11:35:13
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091820053

禁虫 (知名作家)
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9楼2013-11-21 11:35:34
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Smallpeng

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
8楼: Originally posted by 091820053 at 2013-11-21 11:35:13
致密度93%,气泡肯定有，但是是什么原理导致的...

原理就复杂了吧 不太清楚了
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勇敢自信踏实，科研其实和生活是一样一样的
10楼2013-11-21 21:23:06
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