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求问无机非薄膜,对空气敏感,应在表面沉什么capping layer?
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lianglei
至尊木虫
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虫号: 710649
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性别: GG
专业: 凝聚态物性 II :电子结构
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求助
]
求问无机非薄膜,对空气敏感,应在表面沉什么capping layer?
本人打算合成一类薄膜材料,大概几原子层到几十nm不等,由于对空气中H2O,CO2敏感,所以想再“镀”(沉)一层保护层,大概几个原子层最好。请问有什么常用的方法和材料?我做膜是用UHV热蒸镀。尽量能利用这类方法,比如什么容易蒸发的稳定金属层最好。
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2013-11-06 16:57:55
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