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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 工艺设计与开发 » 镀硅和二氧化硅混合膜，做混合靶材
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ppt-ha

新虫 (初入文坛)

[求助] 镀硅和二氧化硅混合膜，做混合靶材 已有1人参与

请问有了解的各位仁兄，我想镀硅和二氧化硅两种的混合膜，是不是需要做两种物质的混合靶材，做这种靶材可行吗？是不是得用溅射的方式镀膜？！
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1楼 2013-11-04 21:10:24
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
314977903: 金币+1, 感谢参与应助！ 2013-11-06 10:15:45
我觉得不太可能吧，镀出来的应该都是氧化硅才对啊。全都被氧化了。
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哈哈哈哈，来吧
2楼2013-11-05 02:15:44
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墨梅飘香

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
314977903: 金币+1, 感谢参与应助！ 2013-11-06 10:15:51
不用混合靶材吧！改用气氛，真空
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莫敛锋
3楼2013-11-05 08:28:07
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小白雪

木虫 (正式写手)

名字好幼稚的。。。

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
直接使用一氧化硅镀膜。。
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单身贵族。
4楼2013-11-07 08:09:23
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八个雅鹿

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
直接用硅靶 通氧气
赞一下(1人) 回复此楼
己所不欲，勿施于人。
5楼2013-11-07 10:12:27
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秋至

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

上面的已经说的很好了。同志你想得到什么成分的目标膜层呢。如果想得到SiO_x成分的，可以用反应磁控溅射，就是用SiO_X靶，同时往真空室里面通氧气就行了
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6楼2014-05-20 22:09:57
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秋至

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by 秋至 at 2014-05-20 22:09:57
上面的已经说的很好了。同志你想得到什么成分的目标膜层呢。如果想得到SiO_x成分的，可以用反应磁控溅射，就是用SiO_X靶，同时往真空室里面通氧气就行了

不对不对，不好意思，是用SiO靶或者Si靶，同时通氧气
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7楼2014-05-20 22:10:50
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