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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » CVD生长ZnO，管壁和舟上都有，但无法沉积到基片上？
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justbbzhu

铜虫 (小有名气)

[求助] CVD生长ZnO，管壁和舟上都有，但无法沉积到基片上？

双温区管式炉热蒸发，Zn源600-800度，沉积区400-600度，载气Ar+O2约200sccm，基片为玻璃和硅片。
陶瓷舟、刚玉舟、管壁都能沉积上白色膜，但基片上很难，请教为何？
基片清洗非常干净，有机溶剂和酸液依次超声过。
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1楼 2013-11-01 12:07:42
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hngstephen

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

硅基片清洗完后多久放入炉管？时间太长(>4hrs)有可能是由于表面氧化了
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2楼2013-11-14 16:41:26
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