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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » ALD制备氧化铝（TMA和O3）出现不均匀情况
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yahoo大奔

新虫 (小有名气)

[交流] ALD制备氧化铝（TMA和O3）出现不均匀情况 已有2人参与

各位虫友，有做ALD得没，最近我们组在用ALD 制备氧化铝出现很奇怪的现象，一直解决不了，采用TMA和O3制备Al2O3，长出来的薄膜出现均匀性差的现象。
我们采用的是4英寸Si（100）衬底，靠近源进气口出Al2O3薄，衬底的后一半均匀性非常好，我们尝试了各种方法，始终没长出整片均匀性比较好的Al2O3薄膜。
ALD生长氧化铝是一种最常见的方法，我们长TiO2和稀土氧化物都没出现这种不均匀的现象。
各位有做ALD的有出现过相似的情况没有？
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1楼 2013-10-30 16:21:46
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wsh1986112

金虫 (小有名气)
★
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楼主你好，我即将开展ALD的相关研究，目前设备尚未到位，对ALD只是出于一知半解的状态。在此想请教一下，做ALD用的TMA纯度要达到多高？你们在哪里买到相应纯度的TMA，价格大约是多少呢？网上查资料说TMA很危险，不知道真正在ALD操作中有什么需要特别注意的地方呢？
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4楼2014-09-18 20:38:55
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
O3的时间长度改过了么？
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哈哈哈哈，来吧
2楼2013-10-31 00:45:19
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