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cyy200661121新虫 (小有名气)
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德国PFEIFFER真空泵组的使用 已有1人参与
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| 本人正在使用德国PFEIFFER真空泵(机械泵和分子泵联用),但总是运行5min后显示ERROR,然后自动停止。想请教一下有使用经验的人指导一下,两者联用时有什么注意事项,有没有先开后开的顺序问题等? |
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