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cyy200661121

新虫 (小有名气)

[求助] 德国PFEIFFER真空泵组的使用 已有1人参与

本人正在使用德国PFEIFFER真空泵(机械泵和分子泵联用),但总是运行5min后显示ERROR,然后自动停止。想请教一下有使用经验的人指导一下,两者联用时有什么注意事项,有没有先开后开的顺序问题等?
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gyq274706322

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


cyy200661121(txh3144522代发): 金币+1, 鼓励发帖交流! 2016-11-22 17:06:28
先开机械泵,待机械泵抽到几帕后就可以开分子泵。出现错误你可以查查有啥故障码没有,报警声音查说明书看看。具体问题还要具体分子。
2楼2016-11-22 14:16:02
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