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紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)

[求助] 化学机械抛光研磨PI速率 已有1人参与

有没有大牛做过用CMP来磨PI。CMP研磨PI的速率大概是多少呢
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shiguanghua

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

我现在做的用CMP来磨Cu和光刻胶,速率在70nm/min
2楼2018-06-05 22:11:43
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