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请问：四氟反应釜衬里有炭（由于炭化）如何除去？
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2楼2007-12-09 21:27:48
fangxuan110
木虫 (小有名气)
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- 注册: 2007-12-04
- 专业: 半导体光电子器件
3楼2007-12-15 23:29:48
10