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白桦树v银虫 (小有名气)
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ZnO薄膜在传感器方面的应用 已有2人参与
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| 最近30多年来围绕着氧化锌薄膜的晶体结构、物化性能、成膜技术以及相关的器件开发等展开了广泛深入的研究使得它的各项性能和应用都获得了显著进展。ZnO薄膜以其性能多样、应用广泛、原料丰富、无毒性和价格低廉为突出优势,又因其制备方法多样、工艺相对简单、易于掺杂改性与硅IC兼容,有利于现代器件集成化,代表着现代材料的发展方向,是一种在高新技术领域及民用领域极具发展潜力的薄膜材料,具有广阔的应用空间。 |
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