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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 怎么在玻璃或者石蜡上加工一个200微米宽，1毫米深的凹槽
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mamingxian

铁虫 (初入文坛)

[求助] 怎么在玻璃或者石蜡上加工一个200微米宽，1毫米深的凹槽

做燃料电池，想用倒膜的方法制作离子交换膜，我们需要怎么在玻璃或者石蜡上加工一个200微米宽，1毫米深的凹槽。买的车床刀片是100微米的，加工出来确实500微米宽的凹槽。不知道有谁能帮帮忙，一定好好感谢！
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1楼 2013-10-19 22:48:33
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无敌麦蒂1

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

或许可以试试MEMS工艺，在玻璃上甩胶，然后光刻，最后干法刻蚀
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天道酬勤
4楼2013-12-04 15:50:41
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
深宽比太大了，机械加工搞不定的。
用激光加工的话，工艺又太复杂了。
可以考虑用喷砂，找到合适加工的地方麻烦一点儿。
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2楼2013-10-21 13:04:41
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小博士后

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
玻璃200微米宽，1毫米深可以用激光方法做。

玻璃上盲槽多的话可以用喷砂的方法做。

希望能帮助你，不明白的可以随时问我。
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3楼2013-10-21 20:16:31
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无敌麦蒂1

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

如果干法刻蚀不好用的话，用湿法刻蚀试试
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天道酬勤
5楼2013-12-04 16:37:52
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