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PLD制备薄膜成分偏析什么原因
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| 用PLD制备过两种薄膜，YBCO和BST，成分都出现偏析。BST薄膜的与靶材成分比不合，但是能形成BST相；YBCO薄膜不能结晶，能谱显示Ba缺失的比较严重。实验中激光能量密度没确定，是否是能量不合适的缘故。 |
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