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请求虫友们的帮助，我现在遇到一个问题，不知怎么回事，什么原因导致的，
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请求虫友们的帮助，我现在遇到一个问题，不知怎么回事，什么原因导致的， 我这几天做的薄膜，用快速退火炉退火，750度退火后，降到60度时从炉中取出试样，刚刚取出时，薄膜表面光滑，大约过1分钟，薄膜就开始剥皮，你遇到过这种情况吗？是怎么回事？ 首先谢谢大家的指点，薄膜与基体的热膨胀系数还是挺相近的 60-80度左右，刚从炉中取出时，没有剥落，取出1分钟后开始出现剥落，而且是整个薄膜都剥皮。应该怎么理解这个问题？ 炉的温度已经降到80了，应该不存在太大的应力了吧？ |
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2楼2007-12-05 13:37:48
yiyang.imr
木虫 (正式写手)
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3楼2007-12-05 14:05:01
10