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yhfan

金虫 (正式写手)

[交流] 请求虫友们的帮助,我现在遇到一个问题,不知怎么回事,什么原因导致的,

我这几天做的薄膜,用快速退火炉退火,750度退火后,降到60度时从炉中取出试样,刚刚取出时,薄膜表面光滑,大约过1分钟,薄膜就开始剥皮,你遇到过这种情况吗?是怎么回事?
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liurenmingok

新虫 (职业作家)

不知你用什么方法做的膜?在什么基片上做的?膜的厚度大约多少?会不会是膜没与基片粘结牢固,你采取哪种方法冷却膜的?如是冷却速度过快,也可能出现你说的那种情况。
2楼2007-12-04 14:43:26
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wuheng

金虫 (小有名气)

降温太快
热应力太大导致薄膜脱落
你查查薄膜的热膨胀系数与基体有多大差距
3楼2007-12-04 16:42:46
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