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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 关于photolithography的问题
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dwaynecheung

新虫 (小有名气)

[求助] 关于photolithography的问题

请问一下大家，用photolithography的方法可不可以在硅上刻蚀出nanocone的结构呢？我说的是陷进去的不是凸出来的。
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1楼 2013-10-10 17:08:20
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
可以是可以的，不过要看尺寸和密度，难度差别很大。
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2楼2013-10-10 17:57:25
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
按理说可以，但是难度太大了，你可以尝试那些异向刻蚀的腐蚀液。或者预先做氧化。
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哈哈哈哈，来吧
3楼2013-10-11 10:22:30
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dwaynecheung

新虫 (小有名气)
谢谢哈
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4楼2014-03-20 21:24:57
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dwaynecheung

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by jeremyfrc at 2013-10-11 10:22:30
按理说可以，但是难度太大了，你可以尝试那些异向刻蚀的腐蚀液。或者预先做氧化。

谢谢了
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5楼2014-03-20 21:28:36
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