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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 硅片的豁口严格地和晶向平行吗
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superhamlet

金虫 (小有名气)

[交流] 硅片的豁口严格地和晶向平行吗 已有1人参与

各位大侠，请教下: 我想在（100）的硅片刻45度的<110>斜坡镜面。其中重要的是mask的图形要和<100>方向一致。那个硅片的大豁口和小豁口是不是严格和<100>方向平行啊？还是豁口只是告诉你硅片类型，晶向还得自己确定。
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1楼 2013-10-03 00:17:09
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
严格平行的吧。一般是垂直那个口切。
赞一下(1人) 回复此楼
哈哈哈哈，来吧
2楼2013-10-03 11:44:40
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