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iris6550

新虫 (小有名气)

[求助] 求分析不同次PS球的SEM照片区别的原因。

需要用SEM看镀Au面上的PS球，我是付费看的，不过每次都有进去一起看。照这些照片的人和机器均相同。
     附件四张图中，前两张对应平均直径57.7纳米的PS球，后两张对应39nm的PS。

    我感觉是后两张都很难确认为PS，边界不清楚，颜色也不大一样。而且从大小上看明显大了很多。总的感觉是没有聚焦清楚，但是尝试了聚焦，结果就是整体都变黑了，越来越模糊（类似第四张图）。不太懂SEM，操作的人也搞不清楚。求问：大概的问题出在哪？
求分析不同次PS球的SEM照片区别的原因。
58nm-1.jpg


求分析不同次PS球的SEM照片区别的原因。-1
58nm-5.jpg


求分析不同次PS球的SEM照片区别的原因。-2
01.jpg


求分析不同次PS球的SEM照片区别的原因。-3
03.jpg
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1楼 2013-09-30 10:38:45
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
kunpeng1782: 专家考核, 谢谢您的回复 2013-09-30 20:13:14
不是聚焦问题，可以考虑换个地方试试，后两张不太像是你的东西，感觉你样品污染蛮厉害的。。50nm以下本来就是SEM快极限了，很难拍的，建议透射，sem这么小照的很不准
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2楼2013-09-30 10:44:34
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iris6550

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by gxytju2008 at 2013-09-30 10:44:34
不是聚焦问题，可以考虑换个地方试试，后两张不太像是你的东西，感觉你样品污染蛮厉害的。。50nm以下本来就是SEM快极限了，很难拍的，建议透射，sem这么小照的很不准

换了很多地方，还是这样。另外，后面两张黑色的小球确实是我做上去的颗粒（没做的地方没有）。
我用了AFM也检测过，这里确实应该小球。

我去找找哪里有付费做TEM的好了，谢谢！
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3楼2013-09-30 11:08:40
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)
引用回帖:
3楼: Originally posted by iris6550 at 2013-09-30 11:08:40
换了很多地方，还是这样。另外，后面两张黑色的小球确实是我做上去的颗粒（没做的地方没有）。
我用了AFM也检测过，这里确实应该小球。

我去找找哪里有付费做TEM的好了，谢谢！...

嗯那估计就是电镜分辨率加上你样品稍微有点污染看不清了，一般扫描10w倍以上就对样品，电镜，技术要求都比较高了，透射应该哪个学校都能做吧，价格不同排期不同而已，另外可以看看测试公司的，他们一般比高校时间快点，价格也还可以
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4楼2013-09-30 11:12:01
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iris6550

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by gxytju2008 at 2013-09-30 11:12:01
嗯那估计就是电镜分辨率加上你样品稍微有点污染看不清了，一般扫描10w倍以上就对样品，电镜，技术要求都比较高了，透射应该哪个学校都能做吧，价格不同排期不同而已，另外可以看看测试公司的，他们一般比高校时间快 ...

因为上次看57.7nm的颗粒时我看到过35nm左右的颗粒，当时也非常清楚，完全没问题。但是这次却不行了，哎！

说到片子污染，我把所有的镀Au硅片其实放在一个盒子里，应该不存在问题的，也不知道为什么。。。
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5楼2013-09-30 11:30:30
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refnew

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
样品没纯化吧，污染太严重了
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6楼2013-09-30 11:55:40
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kitefly2013

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
在3kv的电压下看到200K的倍数已经差不多是S4800的极限了。可能是你的金基底导电性比较好，所以能看出来球状物。我平时做硅材料最少是用5Kv，而且导电性差的材料经常会出现后面的黑框的情况。
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勇攀世界科研高峰
7楼2013-09-30 23:43:11
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