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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 问一下XPS测定元素含量的精度有多高？
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miloyy

木虫 (正式写手)

[交流] 问一下XPS测定元素含量的精度有多高？

深度呢？还有对不同元素的灵敏度有啥不一样么？

谢谢~
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1楼 2007-11-27 01:05:19
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Tavano

铁杆木虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
miloyy(金币+7,VIP+0):谢谢~
一般认为XPS的分析深度为3倍的非弹性散射平均自由程，大约在2-10nm
分析的相对误差一般取为绝对含量的正负15%
对不同元素的灵敏度由灵敏度因子来反应，但是在定量分析计算时已考虑了灵敏度因子。
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2楼2007-11-27 08:20:21
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miloyy

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by Tavano at 2007-11-27 08:20:
一般认为XPS的分析深度为3倍的非弹性散射平均自由程，大约在2-10nm
分析的相对误差一般取为绝对含量的正负15%
对不同元素的灵敏度由灵敏度因子来反应，但是在定量分析计算时已考虑了灵敏度因子。

误差这么大啊，那怎么还好多人推荐用XPS测定成分呢
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3楼2007-11-27 10:18:49
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Tavano

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by miloyy at 2007-11-27 10:18:


误差这么大啊，那怎么还好多人推荐用XPS测定成分呢

XPS定量分析精度一直不高，只是表面分析手段不多（或者有些方法不太普及而太贵，如SIMS），所以要分析表面成分的话只有凑合着用了。
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4楼2007-11-27 10:24:17
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