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guidobin

铜虫 (正式写手)

[交流] 升温晶粒取向会改变吗?

已知650度得到的薄膜主要是(117)(200)峰较强,而温度升高时,(00L)峰逐渐增强,至750度时基本为(00L)择优取向.

请问,如果先用650度退火,再升温到750,会出现以下哪种情况:

1, 仍为(117)(200)较强,但升温使晶粒长大;

2, 薄膜转变为(00L)择优取向
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guidobin

铜虫 (正式写手)

你是说先在某一温度下退火,再升温保持一段时间后,薄膜晶粒取向会改变吗?有相关的研究报道吗?
3楼2007-11-25 21:35:14
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mcp7627

木虫 (正式写手)

镀膜时改变基片温度出现过晶粒取向改变的现象。当时做的不深,不可XRD可回答你的问题。
2楼2007-11-25 19:35:41
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weiwei2007

铜虫 (初入文坛)

当然了,升温速度明显的会影响薄膜的结晶取向。不妨查一下有关铁电薄膜取向方面的文献。
4楼2008-03-18 10:58:42
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