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hairan木虫 (著名写手)
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用于CVD实验的硼烷的气路要求
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实验室需要装气路, 其中一路是用于CVD实验的,气源为硼烷。 领导让查资料,看看管线、阀门、排气装置有没有什么特殊要求? 在网上找了半天,也没见专门说硼烷的,都是一些泛泛的说气路设计的注意事项。 版上有在CVD实验中使用硼烷的兄弟姐妹,指点一下,金币献上,金币不够的话,随时追加。 |
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2楼2013-09-18 10:24:07
hairan
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