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灵动的水呀

银虫 (初入文坛)

[求助] 跪求一些典型的在硅材料表面嫁接硅烷偶联剂的文献

最近在硅材料表面接异氰基丙基三乙氧基硅烷,常温氮气保护也有做,60℃加热氮气保护也有做,可是做过红外以后再2250cm-1左右并没有相关基团振动峰,如氰基振动峰的出现。所以在想自己所采用的接枝方法一定存在问题,跪求各位大神指点迷津,有没有一些比较典型的硅烷偶联剂接枝的文献可以参考呢?
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
半导体行业中,经常用HMDS作为增加polymer和硅片粘附性的增粘剂。实际上HMDS就是硅烷偶联剂,非常成熟,工艺也很简单,你可以看看这方面的材料。
2楼2013-09-17 19:46:32
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