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liaofang20

银虫 (小有名气)

[求助] 铁合金表面镀绝缘膜

本人想在铁合金表面磁控溅射沉积绝缘膜,能否反应溅射氧化铝或者氧化锆?或者大侠们建议其他的绝缘膜。在此先谢过了!
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zpsun1982

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
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liaofang20: 金币+4, ★★★很有帮助 2013-09-17 08:22:48
还可以做TiN膜。
对于氧化膜,那就先溅射金属,然后再氧化处理呗。
2楼2013-09-16 18:42:37
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半刀仙

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
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liaofang20: 金币+4, ★★★很有帮助 2013-09-17 08:22:59
沉积钛膜然后氧化,二氧化钛还透明呢。
3楼2013-09-16 22:03:43
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liaofang20

银虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 半刀仙 at 2013-09-16 22:03:43
沉积钛膜然后氧化,二氧化钛还透明呢。

氧化的温度需要多少,会不会太高?
4楼2013-09-17 08:32:52
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
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liaofang20: 金币+5, ★★★很有帮助, 谢谢,基体温度不能太高,膜层不需很厚,做完绝缘还要在上面镀金属的。 2013-09-22 08:50:39
如果对将来的应用温度要求不高的话,可以考虑直接喷涂teflon。
5楼2013-09-17 19:36:00
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ll2013

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
liaofang20: 金币+7, ★★★很有帮助 2013-10-15 17:12:34
磁控溅射反应镀膜温度相对较低,如果镀金属再加热氧化,温度一般都较高。
6楼2013-10-15 10:31:11
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