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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 铁合金表面镀绝缘膜
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liaofang20

银虫 (小有名气)

[求助] 铁合金表面镀绝缘膜

本人想在铁合金表面磁控溅射沉积绝缘膜，能否反应溅射氧化铝或者氧化锆？或者大侠们建议其他的绝缘膜。在此先谢过了！
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1楼 2013-09-16 16:56:05
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zpsun1982

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
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liaofang20: 金币+4, ★★★很有帮助 2013-09-17 08:22:48
还可以做TiN膜。
对于氧化膜，那就先溅射金属，然后再氧化处理呗。
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2楼2013-09-16 18:42:37
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半刀仙

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
liaofang20: 金币+4, ★★★很有帮助 2013-09-17 08:22:59
沉积钛膜然后氧化，二氧化钛还透明呢。
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3楼2013-09-16 22:03:43
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liaofang20

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 半刀仙 at 2013-09-16 22:03:43
沉积钛膜然后氧化，二氧化钛还透明呢。

氧化的温度需要多少，会不会太高？
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4楼2013-09-17 08:32:52
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
liaofang20: 金币+5, ★★★很有帮助, 谢谢，基体温度不能太高，膜层不需很厚，做完绝缘还要在上面镀金属的。 2013-09-22 08:50:39
如果对将来的应用温度要求不高的话，可以考虑直接喷涂teflon。
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5楼2013-09-17 19:36:00
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ll2013

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
liaofang20: 金币+7, ★★★很有帮助 2013-10-15 17:12:34
磁控溅射反应镀膜温度相对较低，如果镀金属再加热氧化，温度一般都较高。
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6楼2013-10-15 10:31:11
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