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690069175

金虫 (正式写手)

头儿

[求助] 钝化清洗

磁控溅射清洗GaAs,氩清洗后为什么PL都没有上升?清洗时间不同。功率60W。

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镀金
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liu2004m

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
690069175: 金币+5, 博学EPI+1, 有帮助 2013-09-29 11:06:45
清洗的条件很重要,可能还没有达到最佳条件
2楼2013-09-16 09:11:46
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690069175

金虫 (正式写手)

头儿

引用回帖:
2楼: Originally posted by liu2004m at 2013-09-16 09:11:46
清洗的条件很重要,可能还没有达到最佳条件

估计是,不知道什么条件出现问题
镀金
3楼2013-09-16 11:46:14
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