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yhfan

金虫 (正式写手)

[交流] 请教SEM看不到晶粒的问题

各位虫友大家好:
请教各位一个问题:
我做薄膜的XRD测试,已经有晶相了,但是做SEM测试,2万倍也看不到晶粒是怎么回事?
采用什么样的测试手段,才容易看到晶相?
是因为薄膜不容易看到晶粒吗?
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comma

专家顾问 (知名作家)

材料人

没有侵蚀怎么能有晶粒晶界衬度呢?这和放大倍数没有什么关系啊
如果晶粒非常小就要侵蚀后高倍去观察
另外,如果不好侵蚀,可以利用EBSD做map图模拟显示出晶界,但是要知道大概的晶粒尺寸以确定扫描步幅。如果一点都不知道可能的晶粒尺寸,那么可以多做几个不同扫描步幅的map图,原则上步幅越小就越精细,但是每个map图要花更多时间,可以考虑做小一点的图。
每天一小步也有新高度
8楼2007-11-30 11:21:37
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taochn

铁杆木虫 (著名写手)


子男(金币+1,VIP+0):谢谢帮助 谢谢
2W倍,大约是10(-6)m数量级吧!
要不就是本来就不是晶体,要不就是还需要放更大~
另外建议不要用放大多少倍来描述SEM结果。
因为晶粒大小差别是在太大了都有10(6)数量级,
实在没有什么可比性,只要描述那个bar的大小,
大家就全明白了~
2楼2007-11-23 12:47:46
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StarDuster

铁杆木虫 (小有名气)

SEM看不到,就用TEM。
3楼2007-11-23 13:48:36
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granular

木虫 (著名写手)

2W倍的SEM应该说什么都看不到,用个90 W倍的就能看到
4楼2007-11-23 14:32:32
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