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dashan_612

木虫 (正式写手)

[求助] Mo片的化学抛光用什么试剂效果比较好呢

我现在用HF酸浸泡,但是好像还有一些杂质在Mo片的边缘,我是用激光进行切割的

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aux

铁杆木虫 (著名写手)

我不是很清楚,但是做的是半导体材料。
用的是配的酸,HF,H2SO4。H2O2清洗
2楼2007-11-20 18:07:40
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dashan_612

木虫 (正式写手)

溶液怎么配 比例能告诉么
另外对Mo片没有影响么
3楼2007-11-21 08:45:58
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