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swustlijiang银虫 (小有名气)
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J.A.WOOLLAM M-200U 椭偏仪测量非晶氮化硅光学常数
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| 本人使用的是J.A.WOOLLAM M-200U WHITE LIGHT ELLIPSOMETER 椭偏仪测量pecvd制备的非晶氮化硅的光学常速（n,k,d)，由于自带的Vase32软件里面Tauc-lorentz模型（很多文献都是使用这个模型测非晶氮化硅），只能选择简单的Cauchy模型。在测试中470nm以上能够较好的拟合，但470nm以下拟合非常不好。跪求高手解答！！！ |
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swustlijiang
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